Gasmischer

 

Gasmischer LMR 350

Das Gas–Misch– und Regelsystem ist eine Anordnung, um einem bestimmten Gas (z. B. Luft, N2, He oder andere) bis zu zwei Komponenten (z. B. N2, O2, CO2 oder H2) in beliebigen Konzentrationen zuzumischen. Die Konzentrationen der Zusatzkomponenten werden unabhängig von einem vorgewählten und veränderbaren Gesamt-Volumenstrom konstant gehalten. Die Ausführung erfolgt je nach Anzahl der Einzelkomponenten 1-kanalig oder 2-kanalig. Zusätzliche Mischkanäle können auf Anfrage realisiert werden.

Die gewünschten Konzentrationen werden mit Potentiometern vorgewählt und mit LED-Displays angezeigt. Ein in das System integrierter Analysator ermittelt die momentanen Istwerte. Diese werden fortlaufend mit den gewählten Werten verglichen. Aus diesen Werten werden die Stellgrößen für die Volumenströme der Mischkomponenten abgeleitet und verändert bis Sollwerte und Istwerte übereinstimmen

Gasmischer GMS 010

 

Formiergasmischer für die Halbleiterindustrie

Gaszusammensetzung N2, 90%, H2, 10%

Gasqualitäten 5.0, aus Hausnetz

Gesamtfluß max. 60 slm

Eingangsdruck 10 bar (max.)

Druckminderer Präzisionsdruckminderer / Leitungsdruckminderer aus  Edelstahl z.B. der Fa. Tescom

Anzeigen an der Gehäusefront Aktueller Gasfluß und Integrierter Gasfluß für N2 oder  H2 mit Anzeigeeinheit Typ RO-750 TD der Fa. Tylan  General

 LCD-Anzeige der Fehler:

            • n Drift eines MFC oder MFM > 5%
            • n Abweichung des Mischungsverhältnis > 5%
            • n Abweichung des Mischungsverhältnis > 10%

Genauigkeit:   1% vom Skalenendwert

Reproduzierbarkeit 0,2% vom Skalenendwert

Einschwingzeit: < 1sec

 
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